주요 특징

Sigray AttoMap™은 특허 기술을 통해 가능한 최고 해상도와 최고 감도의 Laboratory fluorescence기능을 갖춘 강력한 X-ray Fluorescence microscope 입니다.

• 최고 해상도의 Micro X-ray fluorescence
• 5ms/point까지 빠른 처리량
• 1초 이내에 SEM-EDS와 같은 대체 기술보다 훨씬 더 높은 감도를 제공하는 1/1000000 이하의 감도.

Application

Dopant Concentrations and Thin Film Thickness 1014 atoms/cm2 원자 수준 이하의 Thicknesses와 Dopant, 그리고 Thin film, Coating, 매립층에 대한 정량 분석을 표준 또는 표준이 없는 기본 매개 변수를 사용하여 얻을 수 있으며 Microns-scale 단위의 두께 변화를 측정할 수 있습니다.

Trace Element & Nanoparticle Analysis AttoMap은 여러 요소의 분포를 동시에 측정하기 위해 Sub-femtogram(and sub-ppm)의 전례 없는 감도를 제공하여 지질 샘플의 희토류 원소, 나노 입자(e.g : 50-100nm), 금속 물질, 법의학, 첨단 재료의 오염 물질 등에 응용 가능합니다.

Mineralogy for Mining & Oil and Gas 미량(ppm-scale 수준)의 광물과 희토류 원소의 분포를 분석할 수 있으며, 이를 위한 정량 측정 및 원소 이미징이 Micron-scale에서 가능합니다.

Specifications

Parameter	Specification
Spot Size	High Res (< 8 μm) | Med Res additional optics also available
Sensitivity	Sub-ppm relative detection sensitivity and capable of mapping trace elements. Picogram to femtogram absolute sensitvity (element & acquisition time dependent)
Additional Capabilities & Modules	2D correlative x-ray imaging at <1.5 μm resolution included (standard) Optical microscopy included (standard) Future modules will be available as upgrades
Footprint	54” W x 65.5” H x 38.5” D
Maximum Sample Size	50 cm x 50 cm | 15 cm thickness
Source	Sigray High Brightness Microfocus Source
Target Material	Dual Energy Option, includes selection from: Cr, Cu, Rh, W, Pt, etc. Custom target options include materials that have previously not been used in conventional sources.
Power | Voltage | Current	Sigray Twin Paraboloidal X-ray Optics (matched to each target material)
X-ray Optic	Sigray Twin Paraboloidal X-ray Optics (matched to each target material)
Transmission Efficiency	~80%
Working Distance	10 - 50 mm (customizable)
Interior Coating	Platinum (increases NA of optic significantly)
X-ray Detectors	SDD Detector and an X-ray Camera Optional 2nd SDD Detector
Energy Resolution	<135 eV at Mn-Ka