바닥의 진동은 아주 쉽게 Immersion Lithography System의 패턴 품질에 영향을 줄 수 있습니다.

TMC의 제진대가 어떻게 바닥의 진동을 제어하는지 아래 링크를 통해 함께 배워봅시다!

진동이 주는 영향 알아보기